2023  年,阿斯麥   (ASML)  生產  5  類光刻機,分別是最先進的  EUV, DUV  級的  ArFi、 ArF  dry  和  KrF,到最低端的  i-line。

由於  7  納米以下的晶片需求旺盛,台積電及三星等晶圓代工厰向  ASML  大量訂購  EUV  光刻機。所以,EUV  光刻機的銷量是增長最快的類別,從  2016  年的 1部,急增至  2023  年的  53  部。

DUV  類別當中,製程最高的   ArFi  光刻機,其銷量從  2016  年的  68  部,上升至2023  年的  125  部。

其餘  ArF  dry  、 KrF  和   i-line  的銷量均有增長,不過由於它們是較低端的光刻機,重要性不及  EUV  和  ArFi  光刻機 。

銷售金額方面,EUV  光刻機的增長同樣最快,從  2016  年的  3.3  億歐元,急增至2023  年的  91.2  億歐元,8  年間增長近  27  倍。

ArFi  光刻機的銷售金額則從  2016  年的  35.4  億歐元,增至  2023  年的  90.2  億歐元,僅次於  EUV  光刻,唯  8  年間增長只有  1.5  倍。

ASML  的  2023  年總銷售金額為  219.4  億歐元,而最先進的  EUV  及  ArFi  光刻機兩者的銷售金額合共   181.4  億歐元,佔整體   83%。

平均銷售金額方面,EUV  光刻機的售價趨勢明顯上漲,從  2017  年每部  9,860  萬歐元,升至  2023  年的  1.72  億歐元,增長近  70%。

ArFi  光刻機的售價則從  2017  年每部  5,300  萬歐元,升至  2023  年的  7,210  萬歐元,增長近  40%。

由於  ArF  dry  、 KrF  和   i-line  屬較低端的光刻機,所以售價較低,且漲幅不大。

 

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