阿斯麥  (ASML)  在高端光刻機領域中擁有壟斷地位，但它的壟斷地位是如何形成的呢？那就非要從它的前世今生說起。筆者閱讀了由荷蘭作者  René Raaijmakers 所寫的 ASML’s Architects，中文翻譯本的書名為《光刻巨人：ASML 崛起之路》，書中詳細敘述了 ASML  由誕生走到最終上市的波折經歷。

 

1971 年 9 月，飛利浦成立一個由飛利浦物理實驗室 (Natlab) 和 飛利浦的半導體和材料部 (Elcoma) 聯合專案，嘗試開發光刻機。在這個年代，美國公司

GCA  是光刻機市場的領頭羊，飛利浦管理層最後決定盡快結束光刻機這個虧損項目。可是，一眾大公司都沒有興趣收購飛利浦的光刻機項目。1983 年 9月，飛利浦無奈地接受一家荷蘭小公司「先進半導體材料公司」(Advanced Semiconductor Materials,  ASM)  ，雙方合資成立 ASML，接手飛利浦的光刻機項目。

 

賈特·斯密特  (Gjalt Smit) 被獵頭公司挖去擔任  ASML 第一任首席執行官，負責領導一個士氣低落、被飛利浦拋棄的團隊。不過，斯密特很快就確定了 ASML 的定位：一家只進行研發和組裝的公司，在當時是前所未聞的新模式。斯密特還為  ASML  的企業文化注入了一個新元素：在任何缺乏經驗的領域，聘用外部專家。

 

當時，美國剛剛開始邁出從大型積體電路 (LSI) 到超大型積體電路 (VLSI) 的一步。斯密特看到機會，如果  ASML 成功地為生產  VLSI  供應最佳的光刻機，那麼半導體行業就會被 ASML 拿下。

 

斯密特向董事會提交了一個天價預算方案，選擇是：斥資  1  億美元或倒閉。斯密特解釋，ASML 必須爭取第一名，這是唯一的生存機會。不過，董事會拒絕了這個天價方案，飛利浦和 ASM 只允許各增加  150  萬美元的投資。

 

當時飛利浦正投入一項大型項目 –  Megachip  存儲晶片項目，飛利浦的半導體和材料部 (Elcoma) 向 ASML  訂購了一台正在開發的 PAS 2500  光刻機。同時，ASML 已獲得了飛利浦物理實驗室 (Natlab) 對電動晶圓台的技術支援，這促使將來 ASML 晶圓台的定位和對準精度比競爭對手高很多。

 

1984  年，ASML 成立還不到一年，斯密特就抓住機會在  SEMICON West  展覽會上大力宣傳，並刊登一則大膽的廣告：“ASML  展示的產能讓  GCA 和尼康都不敢看”。“ASM Lithography presents some wafer stepper numbers GCA and Nikon would like to ignore,”。 雖然當時 ASML 的工程師還在飛利浦工業園區的一處偏僻、臨時建築物裡工作，但斯密特卻在接受採訪時說，ASML 計畫在  5  年內成為全球最大的光刻機供應商。

 

1980  年以來，尼康 (Nikon) 與  NEC  和東芝等巨頭合作成立了一個 VLSI 晶片財團，並得到日本政府的支援。NEC  更允許尼康拆開  GCA  的光刻機進行秘密研究，尼康在重新安裝時犯錯，最後被 GCA 發現。1981 年，尼康仿冒 GCA 的光刻機，推出便宜得多的 SR-1 光刻機。1985 年，尼康超越 CGA，在日本擁有  65%  的市場份額。

 

1986  年，半導體行業的衰退進一步深化，光刻機生產商都在掙扎，GCA  發展策略失誤，資金耗光後被收購。ASM  的大股東德爾·普拉多 (Arthur del Prado)，對 “燒錢大王” 斯密特的耐心亦逐漸消失。此外，德國的西門子決定使用佳能 (Canon)  的光刻機，冷待 ASML  和同樣來自德國的鏡頭公司蔡司 (Carl Zeiss)。

 

1986 年，ASM  錄得創紀錄的  2,500  萬美元虧損，斯密特傾向由美國的Perkin-Elmer  和應用材料公司 (Applied Materials) 收購  ASML。1987 年 8月，斯密特選擇離開 ASML，他用了  3  年的時間，為 ASML 奠定了基礎，立志成為光刻機行業龍頭，並培養出 ASML  獨特的文化，包括開放和團隊精神等。

 

待續 …