60 歲的飛利浦老將維姆·特羅斯特 ( Wim Troost) 接任  ASML  首席執行官，他一改斯密特花錢如流水的作風，特羅斯特珍惜每一分錢。

 

1987 年 10 月，全球金融市場遭受巨大打擊。1988  年年初，ASM  的財務狀況跌到谷底，ASM  唯有賣掉部分產品線，並將後端部門  ASM  太平洋科技公司在香港證券交易所上市，股票代號  #522。換句話說，ASML  和  ASM 太平洋 (#522) 是同父異母的姐妹公司。

 

ASM  沒錢了，不但不會增加  ASML  的投資，還準備撤資。最後，飛利浦承擔  ASM  在  ASML  中的股份和債務，這意味著  ASM  對  ASML  的  3,500  萬美元投資化為灰燼。ASM  離開後，飛利浦與  ASML  的銀行  NMB 合作成立了一個組織，由  NMB  銀行取代  ASM，飛利浦亦正式放棄對  ASML 的控股權。

 

80 年代末，大多數美國公司已經把  DRAM  領域讓給日本公司，只有美光 (Micron) 不顧虧損，堅持製造  DRAM。Micron 購買  ASML 的光刻機，對抗日本公司。其後，台積電成為  ASML  的客戶，並在  1988  年年底，台積電因工廠被燒毀，額外購買  17  台新的光刻機，這場大火令  ASML  扭虧為盈。但今次卻輪到飛利浦處於財政懸崖邊緣。

 

幸虧  ASML  從飛利浦和西門子的  Megachip  項目取得經驗，1989  年，ASML 的發展戰略是開發  i  線的  PAS 5500 光刻機。相反地，佳能和尼康卻犯下策略性錯誤，他們計劃跳過  i  線，從  g  線直接跳到深紫外線 (DUV) ，但他們碰到了技術問題。最終，佳能和尼康只能被迫重返  i  線，但已錯失先機。

 

IBM  的全球光刻機供應商名單中，尼康和 SVG  是主要供應商，ASML  只排在第五位。1991 年 1 月，ASML  邀請  IBM  參觀其光刻機，ASML  的光刻機總共分為約  10  個子系統：鏡頭組、光罩機械手、晶圓裝卸器、電動晶圓台等。當時世界上沒有一台光刻機可以像模型套件一樣拆裝。ASML  使用  DUV  技術開發的  PAS 5500  光刻機，成功地引起了  IBM  的興趣。

 

由於台積電的火災，ASML 在  1989 年創紀錄售出了  74  台光刻機，總收入達  9,400  萬美元，獲利  700  萬美元。但  ASML  不能削減開支，仍在燒錢，到  1991  年，ASML 快要破產了。1992  年上半年，飛利浦併購部門的專家甚至建議關閉  ASML，幸好飛利浦最終仍提供臨時財政援助，讓  ASML  挺過了  1992  年。

 

1992 年，ASML  的年收入從  8,100  萬美元躍升至  1.19  億美元，ASML終於可以靠自己生存了。1993  年年初，IBM  改變戰略，取消了  PAS 5500  的訂單，對 ASML 造成打擊。因為當時大型晶片製造商，如英特爾、摩托羅拉、三星和德州儀器等仍從尼康購買光刻機，只有規模較小的 AMD、賽普拉斯 (Cypress Semiconductor)、Micron 和台積電購買  ASML 的光刻機。

 

由於  ASML  是採用蔡司 (Zeiss) 鏡頭，但蔡司沿用傳統方法人手打造鏡頭，導致鏡頭的供應無法追上光刻機的需求，換句話說，ASML 的命運控制在蔡司的手上。為解決這個樽頸問題，飛利浦於 1994  年年底，借給蔡司  1,900 萬美元，作為投資精密的設備。及後，ASML  再給予蔡司  2,000  萬美元援助，最終解決了鏡頭供應不足的難題。

 

雖然  ASML  的光刻機比競爭對手貴  25%，但其精度和生產率較高，加上ASML  的 “不賺錢不付款” 條款，即客戶只需支付銷售價格的  80%，並根據最終業績以支付其餘費用，這為  ASML 贏得很高的聲譽。三星也終於採購 ASML  的光刻機，不久之後，SK 海力士 (Hynix) 也開始使用  PAS 5500  光刻機。

 

1995  年  3 月，ASML  在納斯達克上市，發行價格為  18  美元。飛利浦通過  ASML 上市獲得  1.25  億美元，ASML  立即償還貸款並宣佈擴大產能，ASML  很快就成為股市的寵兒。

 

筆者整理《光刻巨人：ASML崛起之路》的上述内容，希望幫助大家了解ASML  這家公司的成長過程。遺憾的是書中有很多精彩的細節和人物都無法一一交待。筆者將會多寫幾篇文章，補充一些重要的資料，有興趣的讀者可留意。